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高精度电容位移传感器
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产品型号:
产品报价:
产品特点:
数字式纳米级电容位移传感器
  高精度电容位移传感器的详细资料:

世界的精密测量解决方案
A C C U M E A S U R ET M 电容探头
用于 ACCUMEASURETM 系列
可以选择标准的探头和定制的探头
Dprobe.cdr03.10.2014Rev1.0
CT R(径向带连接头类型)
探头上有一个SMA 接头,连接线和SMA 接头相连,并且线缆
从探头径向方向伸出.
安装径向出线类型探
头示意图
SMA 接头
侧视图
ILR(径向出线类型)
低噪声高柔韧性的硅树脂线缆集成在ILR 类型探头侧边,线缆
从径向方向伸出
SMA 接头 仰视图
1 米长线缆
Max. ?= 9mm
CT A(轴向带连接头类型)
探头上有一个SMA 接头,连接线和SMA 接头相连,并且线缆
从探头轴向方向伸出
安装轴向出线类型
探头示意图
SMA 接头
侧视图
ILA(轴向出线类型) 低噪声高柔韧性的硅树脂线缆集成在ILA 类型探头尾端,线缆
从轴向方向伸出.
SMA 接头 仰视图
1 米长线缆
PSR(方形径向出线类型)
PSR 探头很薄,低噪声高柔韧性的硅树脂线缆集成在ILR 类型
探头侧边,线缆从径向方向伸出
SMA 接头
安装方形径向出线
类型探头示意图
1 米长线缆
Dprobe.cdr03.10.2014Rev1.0
μm 0 20 40 60 80 100 120 140
mils 0 1 2 3 4 5 6
被测物
测量范围
产品型号
测量范围 zui小范围 10Hz RMS 时的分辨率 zui大的量程
扩大倍数1
5kHz RMS 时的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐25M‐CTR 25 1 1.27 0.05 0.039 0.002 10x 0.137 0.005 1.09 0.043 9.49 0.374 25.50 1.004
ASP‐25M‐ILR 25 1 1.27 0.05 0.039 0.002 9x 0.137 0.005 1.09 0.043 2.39 0.094 9.50 0.374
ASP‐25M‐CTA 25 1 1.27 0.05 0.039 0.002 10x 0.137 0.005 1.09 0.043 6.39 0.251 63.50 2.500
ASP‐25M‐ILA 25 1 1.27 0.05 0.039 0.002 9x 0.137 0.005 1.09 0.043 2.39 0.094 9.50 0.374
μm
mils
0 20 40 60 80 100 120 140
0 1 2 3 4 5 6
产品型号
测量范围 zui小范围 10Hz RMS 时的分辨率 zui大的量程
扩大倍数1
5kHz RMS 时的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐50M‐CTR 50 2 2.54 0.10 0.079 0.003 9x 0.275 0.011 1.55 0.061 9.49 0.374 25.50 1.004
ASP‐50M‐ILR 50 2 2.54 0.10 0.079 0.003 4x 0.275 0.011 1.55 0.061 2.89 0.114 9.50 0.374
ASP‐50M‐CTA 50 2 2.54 0.10 0.079 0.003 9x 0.275 0.011 1.55 0.061 6.39 0.251 63.50 2.500
ASP‐50M‐ILA 50 2 2.54 0.10 0.079 0.003 4x 0.275 0.011 1.55 0.061 2.89 0.114 9.50 0.374
μm
mils
0 20 40 60 80 100 120 140
0 1 2 3 4 5 6
产品型号
测量范围 zui小范围 10Hz RMS 时的分辨率 zui大的量程
扩大倍数1
5kHz RMS 时的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐125M‐CTR 125 5 6.35 0.25 0.196 0.008 10x 0.686 0.027 2.49 0.098 9.49 0.374 25.50 1.004
ASP‐125M‐ILR 125 5 6.35 0.25 0.196 0.008 2x 0.686 0.027 2.49 0.098 3.99 0.157 9.50 0.374
ASP‐125M‐CTA 125 5 6.35 0.25 0.196 0.008 10x 0.686 0.027 2.49 0.098 6.39 0.251 63.50 2.500
ASP‐125M‐ILA 125 5 6.35 0.25 0.196 0.008 2x 0.686 0.027 2.49 0.098 3.99 0.157 9.50 0.374
μm
mils
0 200 400 600 800 1000 1200 1400
0 10 20 30 40 50 60
产品型号
测量范围 zui小范围 10Hz RMS 时的分辨率 zui大的量程
扩大倍数1
5kHz RMS 时的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐250M‐CTR 250 10 12.70 0.50 0.393 0.015 9x 1.373 0.054 3.53 0.139 9.49 0.374 25.50 1.004
ASP‐250M‐ILR 250 10 12.70 0.50 0.393 0.015 2x 1.373 0.054 3.53 0.139 5.59 0.220 9.50 0.374
ASP‐250M‐CTA 250 10 12.70 0.50 0.393 0.015 3x 1.373 0.054 3.53 0.139 6.39 0.251 63.50 2.500
ASP‐250M‐ILA 250 10 12.70 0.50 0.393 0.015 2x 1.373 0.054 3.53 0.139 5.59 0.220 9.50 0.374
μm
mils
0 200 400 600 800 1000 1200 1400
0 10 20 30 40 50 60
产品型号
测量范围 zui小范围 10Hz RMS 时的分辨率 zui大的量程
扩大倍数1
5kHz RMS 时的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐500M‐CTR 500 20 25.40 1.00 0.785 0.031 3x 2.746 0.108 5.00 0.197 11.00 0.433 25.50 1.004
ASP‐500M‐ILR 500 20 25.40 1.00 0.785 0.031 2x 2.746 0.108 5.00 0.197 7.99 0.315 9.50 0.374
ASP‐500M‐CTA 500 20 25.40 1.00 0.785 0.031 4x 2.746 0.108 5.00 0.197 11.00 0.433 63.50 2.500
ASP‐500M‐ILA 500 20 25.40 1.00 0.785 0.031 2x 2.746 0.108 5.00 0.197 7.99 0.315 9.50 0.374
μm
mils
0 200 400 600 800 1000 1200 1400
0 10 20 30 40 50 60
产品型号
测量范围 zui小范围 10Hz RMS 时的分辨率 zui大的量程
扩大倍数1
5kHz RMS 时的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐1250M‐CTR 1250 50 63.50 2.50 1.963 0.077 2x 6.864 0.270 7.98 0.314 15.50 0.610 25.50 1.004
ASP‐1250M‐ILR 1250 50 63.50 2.50 1.963 0.077 2x 6.864 0.270 7.98 0.314 14.00 0.551 9.50 0.374
ASP‐1250M‐CTA 1250 50 63.50 2.50 1.963 0.077 2x 6.864 0.270 7.98 0.314 15.50 0.610 63.50 2.500
ASP‐1250M‐ILA 1250 50 63.50 2.50 1.963 0.077 2x 6.864 0.270 7.98 0.314 14.00 0.551 9.50 0.374
E
L D Dprobe.cdr03.10.2014Rev1.0
μm
mils
0
0
1000
50
2000 3000 4000 5000
200
6000
100 150 250
产品型号 ASP‐25M‐PSR ASP‐50M‐PSR ASP‐125M‐PSR ASP‐250M‐PSR ASP‐500M‐PSR ASP‐1250M‐PSR ASP‐2500M‐PSR ASP‐5000M‐
测量范围 μm
mils
25
1
50
2
125
5
250
10
500
20
1250
50
2500
100
5000
200
zui小测量范围 μm
mils
1.27
0.05
2.54
0.10
6.35
0.25
12.70
0.50
25.40
1.00
63.50
2.50
127.00
5.00
254.00
10.00
10Hz RMS 时的分辨率 nm
μi
0.039
0.002
0.079
0.003
0.196
0.008
0.393
0.015
0.785
0.031
1.963
0.077
3.926
0.155
7.852
0.309
zui大测量范围1
9x 4x 2x 2x 2x 2x 2x 2x
5kHz RMS 时的分辨率 nm
μi
0.137
0.005
0.274
0.010
0.686
0.027
1.372
0.054
2.745
0.108
6.864
0.270
13.728
0.540
27.457
1.081
E mm
Inch
1.09
0.043
1.55
0.061
2.49
0.098
3.53
0.139
4.98
0.196
7.98
0.314
11.25
0.443
15.93
0.627
L mm
Inch
7.50
0.295
7.70
0.303
8.20
0.323
9.00
0.354
10.20
0.402
18.00
0.709
29.75
1.171
42.50
1.673
W mm
Inch
8.00
0.315
8.00
0.315
8.00
0.315
8.00
0.315
8.00
0.315
13.90
0.547
25.40
1.000
38.00
1.496
T mm
Inch
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
5.00
0.197
定位孔的尺寸 2X M2x0.4 2X M2x0.5 2X M2x0.6 2X M2x0.7 2X M2x0.8 2X (4.2 x 1.65, 2.4 通孔)
μm0 1000 2000 3000 4000 5000 6000
mils 0 50 100 150 200 250
被测物
测量范围
产品型号
测量范围 zui小范围 10Hz RMS 时的分辨率 zui大的量程
扩大倍数1
5kHz RMS 时的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐2500M‐CTR 2500 100 127.00 5.00 3.926 0.155 2x 13.729 0.541 11.25 0.443 25.00 0.984 25.50 1.004
ASP‐2500M‐ILR 2500 100 127.00 5.00 3.926 0.155 2x 13.729 0.541 11.25 0.443 25.00 0.984 9.50 0.374
ASP‐2500M‐CTA 2500 100 127.00 5.00 3.926 0.155 2x 13.729 0.541 11.25 0.443 25.00 0.984 63.50 2.500
ASP‐2500M‐ILA 2500 100 127.00 5.00 3.926 0.155 2x 13.729 0.541 11.25 0.443 25.00 0.984 9.50 0.374
产品型号
测量范围 zui小范围 10Hz RMS 时的分辨率 zui大的量程
扩大倍数1
5kHz RMS 时的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐5000M‐CTR 5000 200 254.00 10.00 7.852 0.309 2x 27.457 1.081 15.93 0.627 38.00 1.496 25.50 1.004
ASP‐5000M‐ILR 5000 200 254.00 10.00 7.852 0.309 2x 27.457 1.081 15.93 0.627 38.00 1.496 9.50 0.374
ASP‐5000M‐CTA 5000 200 254.00 10.00 7.852 0.309 2x 27.457 1.081 15.93 0.627 38.00 1.496 101.60 4.000
ASP‐5000M‐ILA 5000 200 254.00 10.00 7.852 0.309 2x 27.457 1.081 15.93 0.627 38.00 1.496 9.50 0.374
E
L D
方形径向出线类型探头
Dprobe.cdr03.10.2014Rev1.0
DAQU.cdr02.28.2014Rev1.0
推荐使用探头的测量范围
0.5V 输出
测量范围的10%
4.5V 输出
2.5V 输出量程的 90%
量程的50%
探头参数
线缆和探头的使用温度范围: ‐130°C (‐202°F) 到 200°C (392°F).
可定制低温或者高温探头,高温探头可达1200°C – 具体需要咨询我们,配置这种特殊探头需要一个BNC 到SMA 的接头
连接头的温度范围: ‐65°C (‐85°F) 到 85°C(185°F)
精度1: 在使用一个已知校准标准并且量程X1 的探头和放大器的情况下,精度高于满量程的±0.01%
探头和电缆的互换性: 在没有校准、探头量程×1 的情况下,线性度可达± 0.2%
压强等级标准: 1400kPa (200 psig)即大约14 个大气压
材料: 不锈钢结构,内部没有电子元器件
ILA, ILR 和 PSR 型探头线缆长度2: 线缆集成在探头上,需要根据探头的形状和出线的类型选择探头,线缆长度可以定制
1 线性度随着量程的扩大而降低,探头的分辨率约为0 .00000085×频率的二分之一次方根×量程,噪声和量程的扩大倍数成正比,量程×2 会导致分辨率下降一倍,增大平均化处理会降低噪声,
但是同时也会降低带宽(参考用户手册),增加电缆长度也会成比例的增大噪声和降低分辨率。
2 加长非标准ILA/ILR/PSR 的电缆的长度,或者购买定制的可选的低噪声延长线(型录资料上有相关信息),延长线不需要转接头,因为它们已经设计成SMA 公接母的连接头。
可选配件
产品描述 产品序列号
特殊的低噪声连接线 - SMA 公头 到 SMA 母头
1 米长连接线 (FEP 材质,低噪声) 8000‐6891‐210
2 米长连接线 (FEP 材质,低噪声) 8000‐6891‐220
4 米长连接线 (FEP 材质,低噪声) 8000‐6891‐240
KD-CH-4D 校准夹具 8000‐6952
KD-CH-4D 校准器
精密夹具,固定非接触式位移传感器和准确测量各
种被测物相对于传感器的位置。它给用户提供 了
一个获得设备校准数据的很好的手段
探头配合放大器
A C C U M E A S U R ET M
系列
真正的数字式电容位移传感器
线性度高达量程的0.01%

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